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行業(yè)新聞

2nm芯片應(yīng)該怎么造?臺(tái)積電給出「終極答案」
發(fā)布時(shí)間:2022-01-04 09:20

為了延續(xù)摩爾定律,科學(xué)家們想盡了方法……

隨著先進(jìn)制程下發(fā)熱和漏電現(xiàn)象愈發(fā)難以控制,各家芯片巨頭都在尋找新的工藝突破。

在最近舉行的一場(chǎng)半導(dǎo)體行業(yè)大會(huì)上,臺(tái)積電南京公司總經(jīng)理羅鎮(zhèn)球介紹了2nm制程的最新動(dòng)態(tài)。

|源自網(wǎng)絡(luò)

羅鎮(zhèn)球表示,臺(tái)積電將在2nm節(jié)點(diǎn)使用全新的nanosheet/nanowire(納米片/納米線)晶體管結(jié)構(gòu)取代目前主流的FinFET工藝。

有趣的是,三星在3nm節(jié)點(diǎn)就已經(jīng)采用新工藝,但因?yàn)橹圃旒夹g(shù)難度大,量產(chǎn)計(jì)劃被迫推遲,有點(diǎn)“起了大早,趕了晚集”的意思。

如今,兩家半導(dǎo)體巨頭將在2nm節(jié)點(diǎn)迎來一次“正面交鋒”。

2nm工藝有多夸張?

按照臺(tái)積電的說法,要在指甲蓋大?。?00mm²)的芯片上安裝490億個(gè)晶體管,這聽上去就如同天方夜譚。

但工程師們總有新辦法:如果能將晶體管像積木一樣堆疊起來,就能有效減少電路的占位面積,那么晶體管的密度或許就能翻倍。

這種設(shè)計(jì)思路廣泛被下一代新工藝采納,例如此次臺(tái)積電采用的nanosheet、英特爾主導(dǎo)的nanowire以及三星采用的GAA工藝(Gate-All-Around,全環(huán)繞柵極晶體管),本質(zhì)上都大同小異。

用一個(gè)簡(jiǎn)單的例子來描述新結(jié)構(gòu):在最早的Planar工藝下,半導(dǎo)體材料如同一張2D平面的白紙;到了FinFET時(shí)代,這張白紙被折成了3D的鰭(Fin)狀,縮小了閘長(zhǎng)。而如今為了放下更多晶體管,半導(dǎo)體材料像積木一樣被堆疊起來,就如同高樓大廈一樣立體,最終可以容下更多晶體管。

除了解決晶體管密度問題以外,新工藝另一個(gè)目的是為了解決高溫以及漏電(leakage)現(xiàn)象。

在2nm節(jié)點(diǎn),集成電路的線寬接近電子波長(zhǎng),精細(xì)程度幾乎達(dá)到了原子級(jí)別,理論上量子隧穿效應(yīng)已經(jīng)來到物理極限。

|歷代工藝示意

在這種情況下,電子很容易通過隧穿效應(yīng)穿透絕緣層,使器件無法正常工作。

這樣的漏電不僅白白浪費(fèi)了電能,更是引起芯片嚴(yán)重發(fā)熱的原因,同時(shí)也解釋了一些芯片為什么功耗過高。

而在這樣的前提之下,如果芯片設(shè)計(jì)商在設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)繼續(xù)“翻車”,那么最終結(jié)果就是誕生出“火龍888”這樣高功耗的產(chǎn)品。

正是因?yàn)檫@樣的不確定性與各種悲觀,老邁的FinFET工藝已經(jīng)力不從心,但科學(xué)家們顯然不會(huì)輕易放棄摩爾定律。

以相對(duì)成熟的三星GAA工藝為例,三星將原有FinFET工藝的鰭狀改良成多路橋接鰭片,截面為水平板狀或者水平橢圓柱狀。

按照三星的說法,同樣是7nm節(jié)點(diǎn),使用GAA工藝可以將電壓下降至0.7V,并且能夠提升35%的性能、降低50%的功耗和45%的芯片面積,這還只是最初的實(shí)驗(yàn)品。

|GAA工藝橫截面

除了三星的方案以外,其他幾家公司也推出不同的結(jié)構(gòu):

類似nanowire的鰭片為圓柱狀;其他設(shè)計(jì)包括環(huán)狀、六邊形狀、片狀等等,根據(jù)不同的場(chǎng)合有不同的改變。

但無論是哪種方案,理論上都是為了更好地控制電流,讓先進(jìn)制程成為現(xiàn)實(shí)。

|GAA工藝下,工作電壓變化

雖然這些技術(shù)都在實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)了,但是距離量產(chǎn)還有數(shù)不清的困難。

其中最大的障礙是:錢。

研究機(jī)構(gòu)Semiengingeering曾統(tǒng)計(jì)了不同工藝下芯片所需費(fèi)用,其中28nm節(jié)點(diǎn)要5130萬美元投入,16nm節(jié)點(diǎn)需要1億美元,7nm節(jié)點(diǎn)需要2.97億美元,5nm節(jié)點(diǎn)需要5.42億美元。

|芯片流片的成本

到了3nm工藝,價(jià)格直接翻到了10億美元,更先進(jìn)的2nm工藝又該花費(fèi)多少呢?

擺在芯片代工廠面前的不止有物理上的摩爾定律,不為人知的摩爾第二定律也開始凸顯出來:“新晶圓廠的成本每四年翻一番”。

按照臺(tái)積電的說法,新建5nm工廠將需要至少投資300億美元,就以美國(guó)鳳凰城5nm工廠為例,在政府巨額補(bǔ)貼下,臺(tái)積電仍需投資120億美元,只有靠海運(yùn)降低成本,且后續(xù)依然需要不小開支。

當(dāng)然,燒錢的不只是技術(shù)突破和建廠,建造2nm的配套設(shè)施同樣價(jià)格不菲,比如光刻機(jī)、刻蝕機(jī)等等。

目前來說,GAA工藝要求EUV光刻機(jī)的配合,但是目前EUV光刻機(jī)還不夠成熟,芯片產(chǎn)能和速度都不夠快,因此只能做到每小時(shí)90片晶圓,但業(yè)內(nèi)期望速度至少每小時(shí)125片,那么只能依靠其他工藝或是購(gòu)入更多EUV光刻機(jī),但一臺(tái)EUV光刻機(jī)的價(jià)格高達(dá)1.5億歐元,而且不是有錢就能買到的。

所以除了三星、臺(tái)積電和英特爾三家廠商以外,其他廠商已經(jīng)很難承受先進(jìn)制程下的高額成本。

此前,IBM曾宣布率先制造出2nm芯片,但業(yè)內(nèi)人士表示“這就是在忽悠”,從設(shè)計(jì)上看依然是5nm工藝水平,只不過在命名上玩了“文字游戲”。

后來IBM解釋道,他們的“2nm”依然沿用Planar工藝的命名方式,實(shí)際上比臺(tái)積電的7nm工藝有大約50%的提升,遠(yuǎn)遠(yuǎn)達(dá)不到2nm芯片的要求。

從這個(gè)小插曲就可以看出來,雖然在理論和實(shí)驗(yàn)室得到了驗(yàn)證,但2nm芯片的商業(yè)化依然離我們有些遙遠(yuǎn)。

除了錢以外,2nm工藝自身依然存在很多現(xiàn)實(shí)問題需要解決。

一方面是新材料,傳統(tǒng)的硅材料是否還能堅(jiān)持到2nm節(jié)點(diǎn)呢?

最新消息,全國(guó)頂級(jí)半導(dǎo)體科學(xué)家在今年的IEEE國(guó)際芯片導(dǎo)線技術(shù)會(huì)議上將導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性更好的石墨烯定為2nm及以下制程工藝芯片的關(guān)鍵材料,但事實(shí)上,碳基芯片同樣需要解決成本問題。

另一方面則回到商業(yè)化的問題,芯片設(shè)計(jì)商們是否跟得上臺(tái)積電和三星的節(jié)奏呢?

目前,高通驍龍和聯(lián)發(fā)科雖然緊跟最新技術(shù),但功耗控制上并不如人意;而蘋果芯片又受臺(tái)積電良品率限制,只能暫緩了新芯片的研發(fā)進(jìn)度;三星自家芯片又體量過小,很難產(chǎn)生影響力。

據(jù)悉,臺(tái)積電會(huì)對(duì)3nm制程量產(chǎn)中的問題進(jìn)行改良,引入增強(qiáng)的N3E制程,這將成為2nm節(jié)點(diǎn)前的過渡工藝,這或許能讓芯片設(shè)計(jì)商和手機(jī)廠商有足夠的時(shí)間進(jìn)行打磨。

總的來看,以目前的技術(shù)儲(chǔ)備,2nm時(shí)代或許不再是難題。

那么到了1nm時(shí)代甚至更先進(jìn)節(jié)點(diǎn),科學(xué)家們還能帶來什么樣的驚喜呢?

作者|來自鎂客星球的家衡

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